使用
國(guó)產(chǎn)顯微鏡可以直接觀(guān)測(cè)到顆粒的形狀和大小,可以直接用觀(guān)察到的幾何圖像確定顆粒的尺寸,所以國(guó)產(chǎn)顯微鏡法往往作為其它間接測(cè)定方法的基準(zhǔn)。這種方法所需的試樣分量不多,靈敏度較高;不僅可以直接觀(guān)察,而且還可以通過(guò)拍攝將結(jié)果記錄下來(lái)。這些都是其它方法比不上的優(yōu)點(diǎn)。另一方面,由于所取的試樣分量很少,所以這種方法對(duì)試樣有無(wú)代表性的要求甚嚴(yán)。同時(shí)對(duì)試樣的制備技術(shù)要求也比較嚴(yán)格。用
國(guó)產(chǎn)顯微鏡觀(guān)測(cè)顆粒的尺寸時(shí),有著許多*的表示方法。因此,充分了解各種顆粒直徑的意義便顯得格外重要。使用顯微鏡測(cè)量顆粒直徑時(shí),通常都是測(cè)量顆粒投影像的尺寸。除了必須測(cè)量厚度的特殊情況之外,一般只限于測(cè)定顆粒的平面像。
1、明視野法
觀(guān)察試樣直接反射光的方法。照明燈的光通過(guò)物鏡垂直導(dǎo)向而入射于試樣,來(lái)自試樣的直接反射光通過(guò)物鏡即被觀(guān)察到。
2、暗視野法
觀(guān)察試樣干涉及衍射光的方法。照明光線(xiàn)通過(guò)物鏡外圍斜射于試樣,來(lái)自試樣的干涉及衍射光即被觀(guān)察到。
★適用國(guó)產(chǎn)顯微鏡檢測(cè)試樣上微細(xì)的擦痕或裂痕、檢測(cè)晶片等試樣鏡狀表面。
3、微分干涉對(duì)比法
這是將用明視野法可能觀(guān)察不到的試樣高度微小差異通過(guò)改善對(duì)比法變?yōu)榱Ⅲw或三維圖像的顯微觀(guān)察技術(shù)。照明光由微分干涉對(duì)比棱鏡變?yōu)閮墒苌涔?。這兩束衍射光使試樣高度差異造成在光路上的微小差異,而光路差異變?yōu)槔梦⒎指缮鎸?duì)比棱鏡和檢偏振器的明暗對(duì)比。
再利用敏感色板,加強(qiáng)了高度差異的顏色變化。
★適合檢測(cè)包括金相結(jié)構(gòu)、礦物、磁頭、硬磁盤(pán)表面和晶片精制表面等有極其微細(xì)高度差異的試樣。
4、偏振光法
這是使用由兩個(gè)一組的濾色鏡(檢偏振器和起偏振器)形成偏光的顯微觀(guān)察技術(shù)。這些偏光軸始終保持相互垂直。一些試樣在兩個(gè)濾色鏡之間呈鮮明的對(duì)比?;蚋鶕?jù)雙折射性能和定向(即、鋅結(jié)構(gòu)的拋光試樣)呈現(xiàn)顏色。在檢偏振器插在目鏡前的觀(guān)察光路時(shí),起偏振器位于垂直照明前面的光路。
★適合觀(guān)察金相結(jié)構(gòu)(即、球墨鑄鐵的石墨增長(zhǎng)形態(tài)),礦物和液晶(LCD)以及半導(dǎo)體材料。
5、熒光法
本技術(shù)用于發(fā)出熒光的試樣。
★適合利用熒光法檢測(cè)晶片的污染,感光性樹(shù)脂的殘留物,以及檢測(cè)裂縫。